(1)臺(tái)式潔凈隧道

  這種形式的潔凈隧道是將潔凈工作臺(tái)相互連接在一起，并取消中間的側(cè)壁，組成生產(chǎn)需要的隧道型生產(chǎn)線。當(dāng)工藝要求垂直層流時(shí)，可選用垂直層流工作臺(tái)。當(dāng)工藝要求水平層流時(shí)，則選用水平層流工作臺(tái)。這種凈化方式較全室凈化更易保證局部空間的高潔凈度，并由于工作臺(tái)相互連接，可以減少或防止交叉污染。此外，對(duì)建筑的要求比較簡(jiǎn)單，只要求具備亂流潔凈室的環(huán)境即可。其缺點(diǎn)是潔凈工作臺(tái)的尺寸固定，使操作面缺乏足夠的靈活性，工藝設(shè)備必須適應(yīng)工作臺(tái)的尺寸，調(diào)整起來(lái)也不大方便。

  (2)棚式潔凈隧道

  這種形式的潔凈隧道是將潔凈棚，即棚式垂直層流單元串聯(lián)在一條生產(chǎn)線上所組成的。根據(jù)工藝要求，潔凈棚的面積可以變化，空氣可以全部為室內(nèi)循環(huán)式，也可連通集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)，吸取部分新風(fēng)。棚式潔凈隧道適合于工藝設(shè)備較大的場(chǎng)所。

  (3)罩式潔凈隧道

  這種形式的潔凈隧道是將層流罩，即罩式垂直層流單元串聯(lián)在一條生產(chǎn)線上所組成的。由于層流罩的進(jìn)深比潔凈棚小，只適用于工藝設(shè)備較小的場(chǎng)所?？諝庋h(huán)方式與棚式潔凈隧道和臺(tái)式潔凈隧道相同，是目前采用較多的一種潔凈隧道。

  (4)集中送風(fēng)式潔凈隧道

  這種形式的潔凈隧道是由集中式送風(fēng)系統(tǒng)的滿布高效過(guò)濾器的靜壓箱所組成的。層流工作區(qū)的寬度可依照工藝提出的要求確定，而不像臺(tái)式、棚式和罩式潔凈隧道那樣，因局部?jī)艋O(shè)備的尺寸而限制層流工作區(qū)的寬度，設(shè)計(jì)可以更為靈活。采用這種形式時(shí)，回風(fēng)可以通過(guò)技術(shù)夾道，也可像圖這樣，在亂流操作活動(dòng)區(qū)設(shè)置地溝。此外，工業(yè)管道可布置在工作區(qū)的沿壁板一側(cè)，排風(fēng)管接至地溝。